隨著光電子信息產業的發展，紫外線表面清潔技術在上被提出。1970年代中期，美國電子技術和設備實驗室使用紫外線清潔石英晶片，并取得了令人滿意的結果。但是，在美國，紫外臭氧清洗機技術長期以來一直主要用于領域的研究中。直到1990年代初，日本和美國先后將UV光清洗機應用于民用光電產品的工業生產過程中，并在需要技術保密的情況下，開始向中國的外資LCD公司提供UV光清洗機。
 

　　隨后，在日本開發紫外線表面清潔技術的同時，還開發了紫外線表面改性技術。二十世紀末，日本的先進工業國家如紫外線表面清潔和升級技術逐漸從信息產業擴展到金屬，塑料，橡膠等工業生產過程。在1990年代后期，中國的信息技術和產業以驚人的速度迅速發展，特別是平板顯示技術的迅速發展。LCD屏幕從TN級別持續提高到STN和TFT。新型OLED顯示產品也開始進入市場。結果，制備過程的表面質量要求變得越來越嚴格，紫外線表面清潔技術的*性已得到廣泛認可，并且對紫外臭氧清洗機的需求也在不斷增加。
 

　　1.在LCD和OLED的生產中，在施加光致抗蝕劑，PI膠，取向膜，鉻膜和彩色膜之前先用紫外臭氧清洗機進行光清潔，可以大大提高基板表面的潤濕性并增強基板表面的附著力；
 

　　2.大型集成電路的密度越來越高，晶格越來越密，并且要求表面的清潔度越來越高。輕度清潔可以有效地實現表面原子清潔度，并且不影響芯片表面。會造成損壞。
 

　　3.在印刷電路板的生產中，紫外臭氧清洗機對銅基板和印刷基板進行光學清洗和改性，并在焊絲焊接之前進行光學清洗，這樣可以增加熔焊的接觸面積并大大提高增加連接強度。特別是對于高精度印刷電路板，當線間距達到亞微米水平時，光清洗可以輕松地去除線間距之間的非常小的顆粒，這可以大大提高印刷電路板的質量。

紫外燈類型	低壓石英水銀蒸汽燈
紫外線燈的主要波長	185nm和254nm
UV燈管尺寸	100x100mm
UV燈電源	4000V,30mA
UV燈壽命	每天使用可用8-10年
適用電壓	230V,0.6A,50Hz//opt.(110V,1.2A,60Hz)
大運行時間	59分59秒
安全	安全聯鎖，高溫報警，高溫斷電。
托盤尺寸	120x120mm
大樣品尺寸	100x100mm
總尺寸	長204mm、高227mm、寬300mm